TOPCon电池扩散工艺过程中污染来源分析
贾锐 中国科学院微电子研究所
文章最后总结，
1、硼扩散的高温过程，由于时间长、温度高；整个扩散过程对外界污染很敏感(扩散过程控制比磷扩散难度高)；
2、当有污染出现时，需要对整个工艺腔室、设备部件进行更换和严格清洗。
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