磷扩散时硅片底部方阻老是偏高是怎么回事？谁知道？
2015-03-26 15:05:48SOLARZOOM光伏亿家15780
网友提问：硅片扩散后，靠近石英舟的硅片底部老是方块电阻高于其它地方，求解决的方法。测试时采用的是semilab wt2000 pvn 进行面扫描.
网友解答：加大POCL3/O2流量，均匀度会上升
原帖地址：http://www.solarzoom.com/thread-297059-1-1.html
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