RENA刻蚀后背面有圆形印记是什么原因
2011-12-15 17:46:54solarzoom2741
提问：
sunchencai
如上图，Rena刻蚀后出现的，出现概率可达50%，图中圆形区域通过显微镜观察绒面还在，请问这是什么原因造成的？
网友解答：
Dragonfly_
刻蚀槽液面太低，圆形印记应该是没有被刻到的区域。建议增大循环流量，提高刻蚀槽的液面。
sunpowerman121
可能是刻蚀槽有气泡鼓出，管槽液面没泵高。
xuelang4444
看图片可能原因是气泡黏附上去，所以导致没有被刻蚀到，是鼓泡或者是因为药液反应留下的H2或者NO等，在换液和流速上可能有作用；还有一种原因是片子杂质不均匀，但可能性相对小一些。
sunwind317
可以考虑将炉温调高一点。
shan635
可能是背面吸附了气泡造成的。
zmcbcc
圆形区域看起来还是蛮大的，我认为是气泡附着导致的，制绒液使用很久，可能是制绒溶液粘稠度太大了，即反应形成的硅酸盐太多了。
yongyong34
可能是小气泡吸附在硅片背面，好像要加点酸。
雨夜花火
看上去像气泡粘附，试试把药液打进储液罐在打上槽里，然后加大循环流量，看看刻蚀槽内是否有气泡。
本贴根据solarzoom论坛帖子整理，不代表solarzoom的观点。
如有疑问欢迎加入交流讨论。原帖地址：http://www.solarzoom.com/thread-188904-1-2.html
sunchencai
如上图，Rena刻蚀后出现的，出现概率可达50%，图中圆形区域通过显微镜观察绒面还在，请问这是什么原因造成的？
网友解答：
Dragonfly_
刻蚀槽液面太低，圆形印记应该是没有被刻到的区域。建议增大循环流量，提高刻蚀槽的液面。
sunpowerman121
可能是刻蚀槽有气泡鼓出，管槽液面没泵高。
xuelang4444
看图片可能原因是气泡黏附上去，所以导致没有被刻蚀到，是鼓泡或者是因为药液反应留下的H2或者NO等，在换液和流速上可能有作用；还有一种原因是片子杂质不均匀，但可能性相对小一些。
sunwind317
可以考虑将炉温调高一点。
shan635
可能是背面吸附了气泡造成的。
zmcbcc
圆形区域看起来还是蛮大的，我认为是气泡附着导致的，制绒液使用很久，可能是制绒溶液粘稠度太大了，即反应形成的硅酸盐太多了。
yongyong34
可能是小气泡吸附在硅片背面，好像要加点酸。
雨夜花火
看上去像气泡粘附，试试把药液打进储液罐在打上槽里，然后加大循环流量，看看刻蚀槽内是否有气泡。
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