近日，泛半导体智能制造整体解决方案供应商合肥欣奕华智能机器股份有限公司研发的用于钙钛矿太阳能电池生产的关键量产设备Inline钙钛矿真空镀膜机已交付国内钙钛矿电池产业知名公司投入生产。

　　此次交付的Inline钙钛矿真空镀膜机是国内首台全自主研发面世的大尺寸钙钛矿真空镀膜机，属于钙钛矿电池制备核心设备，采用Inline System设计，无需工业机器人即可实现自动上下料，降低了成本，同时其独特的间隙管理，可提高镀膜效率，减少污染，并且兼容多种材质基板。可满足大面积钙钛矿膜层制备且有效提高材料利用率，确保大面积的均匀性。

　　企业相关负责人表示：近年来，合肥欣奕华持续加大研发投入，这款设备具有完全自主知识产权。此次我们主要攻克了真空镀膜技术、高速率控制技术、掺杂化学反应的高混合比真空镀膜技术和大面积高品质钙钛矿吸收层制备技术，欣奕华的Inline钙钛矿真空镀膜机能实现高质量均匀大面积成膜，稳定性高。