2024年1月18日据国家知识产权局公告，苏州迈为科技股份有限公司取得一项名为“采用RPD和PVD制备异质结太阳能电池的装置及系统“，授权公告号CN220352223U，申请日期为2023年8月。

专利摘要显示，本申请公开了一种采用RPD和PVD制备异质结太阳能电池的装置及系统，属于太阳能电池领域。一种采用RPD和PVD制备异质结太阳能电池的装置，该装置包括用于环境过渡的进端室组、对电池片第一面进行镀膜的第一面镀膜室、对电池片第二面进行镀膜的第二面镀膜室组、用于环境过渡的出端室组以及主控单元；第一面镀膜室包括第一PVD磁控溅射室；第二面镀膜室组包括依次设置的RPD镀膜腔室和第二PVD磁控溅射室，在电池片第二面制备RPD+PVD复合TCO膜；复合TCO膜为PVD膜沉积在RPD膜的远离硅片的一面的层叠式复合膜。本申请可以在保证制备效率、SHJ电池能量转化率的情况下降低制备成本，突破RPD设备产能受限问题。