据天眼查知识产权信息显示，广东利元亨智能装备股份有限公司申请一项名为“一种异质结掺杂层制备方法及太阳能电池“，公开号CN202410229649.4，申请日期为2024年2月。

专利摘要显示，本申请公开了一种异质结掺杂层制备方法及太阳能电池，异质结掺杂层制备方法包括提供硅衬底；将所述硅衬底放入第一工艺腔，以在硅衬底的表面形成种子层；将所述硅衬底放入第二工艺腔，以在种子层的表面形成功能层；将所述硅衬底放入第三工艺腔，以在功能层的表面形成接触层。利用各个工艺腔中的温度不同，有利于对种子层、功能层和接触层各膜层的沉积温度控制，从而提升膜层的掺杂效果，将电池片的电性能和光学性能匹配至较好的状态，以同时获得较高的光电转化率以及光吸收效果。