OCTOPUS II系统将被用来进行晶硅异质结太阳能电池的研发。图片来源：INDEOtec

光伏设备专家INDEOtec日前获得第五笔PECVD沉积设备订单，客户方为美国一家未透露姓名的“薄膜产品研发团队”。

不久前，INDEOtec曾与IPVF法国研发中心签署OCTOPUS II系统订单。

OCTOPUS II系统将被用来进行晶硅异质结太阳能电池的研发。该系统能够对若干固有掺杂非晶硅材料进行掺杂，同时还可在钝化过程中启用硅合金，如SiNx和SiOx等。

系统同时还是用了Mirror(镜面)反应堆概念，在腔室中对电池的两面同时进行沉积，免除了硅片翻转和清除破损的额外流程，从而降低了工艺时长。

公司表示，由于较低的等离子点火水平和较低的离子轰击，系统特有的反应堆设计和独特的电极装置能够实现优良的薄膜厚度统一度和极高的钝化水准。