晶盛机电在互动平台表示，公司较早启动了对碳化硅等第三代半导体材料设备的研发。目前自主研发的碳化硅单晶炉已经实现销售，外延设备已经取得客户技术验证通过，在行业内奠定了较好的基础和声誉。公司将继续加大研发力度，充分发挥在半导体装备和精密制造领域的技术优势，持续拓展碳化硅等第三代半导体材料装备。
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