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这对TOPCon电池来说很重要
  • 2021-10-19 21:03:13
  • 浏览:29712
  • 来自:摩尔光伏

 TOPCon电池扩散工艺过程中污染来源分析

  贾锐 中国科学院微电子研究所

  文章最后总结,

  1、硼扩散的高温过程,由于时间长、温度高;整个扩散过程对外界污染很敏感(扩散过程控制比磷扩散难度高);

  2、当有污染出现时,需要对整个工艺腔室、设备部件进行更换和严格清洗。

【责任编辑:sunnyz】
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关键字阅读: TOPCon电池
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