捷佳伟创(300724)12月30日在互动平台表示,公司板式PECVD在中试线运行良好,也在积极导入到客户,管式PECVD正在中试线上进行量产定型的工艺调试阶段,运行情况均符合公司预期,并且还在升级优化。
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