据国家知识产权局公告,苏州迈为科技股份有限公司取得一项名为“用于制备异质结太阳能(5.210, 0.00, 0.00%)电池的设备及系统”的专利,授权公告号CN221057449U,申请日期为2023年11月。
专利摘要显示,本申请公开了一种用于制备异质结太阳能电池的设备及系统,属于太阳能电池制备技术领域。用于制备异质结太阳能电池的设备,异质结太阳能电池包括硅衬底,设于硅衬底第一表面的第一本征钝化层,及设于硅衬底第二表面的第二本征钝化层,第一本征钝化层包括第一子本征层和第二子本征层,第二本征钝化层包括第三子本征层和第四子本征层;设备包括:第一工艺腔体,用于制备第一子本征层或第三子本征层;第二工艺腔体,所述第二工艺腔体与第一工艺腔体相连通,用于制备第二子本征层或第四子本征层;第一工艺腔体内的工艺温度与第二工艺腔体内的工艺温度不同。本申请能满足异质结电池对本征非晶硅基薄膜的多重要求,有助于提升电池的光电转换效率。