国家知识产权局信息显示,通威太阳能(成都)有限公司取得一项名为“PECVD 设备及支撑杆组件”的专利,授权公告号 CN 222160353 U,申请日期为 2024 年 1 月。
专利摘要显示,本申请涉及一种 PECVD 设备及支撑杆组件。支撑杆组件包括绝缘杆、第一绝缘隔套及第二绝缘隔套。第一绝缘隔套包括套设于绝缘杆的第一内套环及第一外套环,第一外套环的端部对应凸出于第一内套环的端部,第一内套环与第一外套环围设成第一收容空间。第二绝缘隔套包括套设于绝缘杆的第二内套环及第二外套环,第二内套环的端部对应凸出于第二外套环的端部,第二内套环与第二外套环围设成第二收容空间。第一外套环设于第二收容空间,第二内套环设于第一收容空间,第一外套环的端部与第二外套环的端部间隙配合,第一外套环的内侧壁与第二内套环的外侧壁间隙配合。如此,可延长支撑杆组件的使用寿命,降低维护频次,提高 PECVD 设备的开机率,进而提高生产效率。