2024年12月23日国家知识产权局信息显示，通威太阳能（成都）有限公司取得一项名为“镀膜设备及其掩膜载板”的专利，授权公告号 CN 222182435 U，申请日期为 2024 年 4 月 。

　　专利摘要显示，本申请涉及一种镀膜设备及其掩膜载板，掩膜载板包括多个载料框架，每个载料框架均设有矩形镂空区域以及环绕矩形镂空区域的台阶槽和真空管路，台阶槽具有用于承接硅片的承接面以及贯穿承接面的吸附孔，吸附孔与真空管路相连通，以在真空管路连接真空泵进行抽真空时，吸附孔将放置于台阶槽内的硅片吸附贴合于承接面本申请的镀膜设备及其掩膜载板利用掩膜载板的真空管路抽真空时对台阶槽内的硅片进行吸附，使得硅片与承接面相贴合，从而避免 TCO 导电分子进入硅片与承接面的贴合位置而导致漏电现象，以提升镀膜良品率。