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CT管镀膜色差异常求助
  • 2015-06-24 10:20:12
  • 浏览:28243
  • 来自:SOLARZOOM光伏亿家

网友提问:使用CT管P多晶镀膜,240的舟,增加硅烷流量,硅片单片色差非常严重,硅片正中间一块偏薄,同时单片折射率不均也很严重。问下大家出现这种情况一般是什么原因,怎么解决?

网友解答1:是不是增加硅烷流量后硅烷过量?

网友解答2:中间的气体密度是低于边缘的,查下进气孔是否堵塞,先不要急于调节流量。

网友解答3:放电可能有问题,硅烷的流量变回去试试。你那个片子镀膜的样子看起来很像石墨舟的那个挖空的地方。

原帖链接:http://www.solarzoom.com/thread-298528-1-1.html

【责任编辑:amy.wang】
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关键字阅读: CT管
Wound-Tech 2016-01-05 18:00:14
检查下阀,检查电极,气体暂时不要改变太多,检查石墨舟
马丁格林 2015-08-27 14:23:44
真空搞一下问题就解决了
Solarzoom网友 2015-08-11 13:09:40
应该是轻微的气密性问题
fuyao1986 2015-07-09 15:52:10
估计是流量改变影响了管内气体的稳定性,另外这个膜的厚度有些高了吧,估计得85以上了

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